为了实现始终如一的可靠性能和零维护,您可以依赖于Edwards 的 STP Maglev 涡轮分子泵来实现。
我们的一套 STP Maglev 涡轮分子泵于 1983 年售出,现在已经在世界各地 安装了多套。
大部分运行于半导体制程工具中,表现出了卓越的性能级别和可靠性。
对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物泵送、维护量少和低振动的应用, STP Maglev 涡轮分子泵。
转子通过磁力轴承实现悬浮,因此,消除了转子与泵其余部分之间的接触。除振动很低之外,
消除接触还意味着转子旋转时不会发生轴承接触,也就无需对泵进行后续维护。
产品开发的每个设计阶段融合了节能技术,以降低能耗和提升运行效率,同时不损害质量和性能。
-
提高了生产效率:
更快抽空到基准压力
-
体积紧凑:
节省空间并且易于安装
-
低拥有成本:
低功耗和水电消耗
-
免维护:
经济