Gamma Vacuum钛升华泵

从便携式质谱分析仪到大型粒子加速器，捕获泵送技术可为多种应用创建高真空 (HV)和超高真空 (UHV) 环境。
它们能以经济的成本创建尽可能低的真空。 

Edwards 通过 Gamma Vacuum 提供一系列离子泵、钛升华泵、非蒸散型吸气剂泵和附件。

离子泵
离子泵也称为溅射离子泵或离子吸气剂泵，属于俘获型泵，这种泵使用阳极/阴极阵列将气体离子化。 离子会
溅射活性阴极材料，导致化学反应，将离子化气体转变为固体化合物。 这些化合物不会再在真空系统中形成
压力，而是被捕获在离子泵内。离子泵的工作压力范围为 10-5 至 10-12 mbar，可处理 0.2 至 1,200 l/s 的氮气。

钛升华泵
TSP 的工作原理是加热钛丝并将钛分子升华（从固相到气相的转化）到某个表面上。升华的钛分子随后可用
于与活性气体（如氧气和氮气）发生化学反应，并分离和扩散出氢。  TSP 的工作压力范围为 10-5 至 10-12
 mbar， 氢气抽取速度超过10,000 l/s。 

非蒸散型吸气剂泵
NEG 是被压到固态基板上或烧结成盘状的活性金属。 已发现锆、钒和铁的特定组合适合 HV 和UHV环境。
使用的材料量控制NEG泵的速度和容量，但范围一般为50至3,500 l/s 的氢。当 NEG 与气体饱和时，它
们可以再活化而不向大气中排放废气。